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高纯供气系统生产厂家信息推荐 艾明坷
2020-08-31






实验室集中供气的优点

1、保持气体纯度

2、不间断气体供应:系统可以以手动方式和自动方式在气瓶之间进行切换,保证气体连续供应

3、低压警示:当气压低于警报限时,报警装置可自动启动报警

4、气体压力稳定:系统采用两级减压方式供气,可得到非常稳定的压力

5、率:通过供气控制系统,可充分使用气瓶中的气体,减少残气余量,降低用气成本

6、操作简便:所有气瓶存放在同一位置,减少搬运安装的操作,节约时间和成本费用

7、无气瓶在实验室:可提高安全性、提高安全感、节省实验室操作空间

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实验室气体的危险性

1.有部分气体具有毒、强腐蚀等特性,其一旦泄漏,就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害;

2.多种气体在同一个环境下使用,如果有两种会发生燃烧或爆1炸等强烈化学反应的气体同时泄漏,就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害;

3.多数气瓶出口压力1高可达15MPa,即150公斤/cm2,如果发生气瓶口减压装置失灵,就有可能将一些部件激1射出去,其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。

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高纯气体的输送管路系统

随着微电子工业的发展,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求极为严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。实验室气体管道设计要求了解实验室设计的都知道:实验室的任何的设计都是有规格要求的,出了这个要求的范围那么实验室的设计就有漏洞,就不合格,就容易发生事故。



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